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高端电子工艺装备

【1】集成电路装备

产业介绍:电控公司的集成电路装备以七星电子(北方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国家重大科技专项加快产业发展,产品以集成电路设备为主,并结合市场需求向光伏、先进封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等应用领域拓展。七星电子(北方微)先后承担11项国家重大科技02专项,技术水平快速提升,填补了国内12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等设备技术空白,大部分产品实现了28nm的产业化认证,刻蚀机、PVD已开始14nm技术的研发☂。 

12厘米28nm刻蚀机、PVD、钝化炉等设施产品均已打开了我国著名融合电源电路打造中小型企业大加工线,许多产品己成为LED、最新封装类型、MEMS等泛半导领的中端产品,市場全力以赴工作任务工作成效更为明显。中仅12厘米、28nmHardMask PVD设施产品及12厘米55nm硅刻蚀设施产品已是 中芯全国的Baseline设施产品。

重要产品:刻蚀设备(Etch)、化学气相沉积设备(CVD)、物理气相沉积设备(PVD)立式炉、LPCVD、超精细清☂洗机、ALD设备。 

 

【2】锂电装备

济南电控系统可能提供全套多少钱的锂铁离子电芯极片生孩子所要的搅拌机、涂布纸、辊压、分切机装置。  
取得胜利的 率试制大储存量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)掺和机械,已把握会自动送料技術应用、掺和全过程系统程序化把控、掺和料评估等技術应用;取得胜利的 率研发管理出了挤出来式刷抹机械,刷抹加快速10-20m/min(较高以到达30m/min)。取得胜利的 率研发管理出了夜压电机驱动器辊压机械,极片热挤压加快速以到达20-30m/min(较高以到达60m/min),把握了极片热轧钢板技術应用、辊真空镀膜技術应用、AGC夜压电机驱动器把控型等主要技術应用。  
分割仪器可分割自粘卷材总宽达700mm,生孩子取得胜利率达标50m/min(最好含量达标80m/min),并设计规划了仪器CCD测控整体减小了产品的废旧物品率。与此的同时,取得胜利的架设了20000Ah锂正离子能源电板中试线,为自产仪器提拱了生产技术核验渠道,配备提拱整线解决处理措施的能力素质。